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ソフトウェアソリューション
ベラジョン

概要
CIMControlFramework(CCF)は、画期的なベラジョンです。装置制御、基板搬送、自動化、EES対応などの周辺アプリケーション開発を高い信頼性で強力にサポートします。
- データ・ドリブン型アーキテクチャの採用により、高速なデータ処理を実現
- 工場とのオンライン通信のためのSECS/GEMおよびGEM300への完全準拠が可能
- 多くの工場で採用されてきているベラジョンデータ収集のためのEDA/Interface Aの規格 (Freeze 1/Freeze 2 および E164) への
完全準拠が可能 - ソースコード提供型ソフトウェアフレームワークソリューション
アーキテクチャ概念図
関連ベラジョン規格
- ベラジョン E4 ベラジョン Equipment Communication Standard, Transport (SECS-I)
- ベラジョン E5 ベラジョン Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
- ベラジョン E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
- ベラジョン E37 High-Speed SECS Message Services (HSMS)
- ベラジョン E39 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
- ベラジョン E40 Standard for Processing Management
- ベラジョン E84 Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
- ベラジョン E87 Specification for Carrier Management (CMS)
- ベラジョン E90 Specification for Substrate Tracking
- ベラジョン E94 Specification for Control Job Management
- ベラジョン E95 Specification for User Interface
- ベラジョン E99 Specification for SECS-I and SECS-II Protocol for Carrier ID Reader/Writer Functional Standard
- ベラジョン E116 Specification for Equipment Performance Tracking
- ベラジョン E120 Specification for the Common Equipment Model (CEM)
- ベラジョン E125 Specification for Equipment Self Description (EqSD)
- ベラジョン E132 Specification for Equipment Client Authentication and Authorization
- ベラジョン E134 Specification for Data Collection Management
- ベラジョン E148 Specification for Time Synchronization and Definition of the TS-Clock Object
- ベラジョン E157 Specification for Module Process Tracking (MPT)
- ベラジョン E164 EDA Common Metadata
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