PRODUCTSベラ ジョン カジノ 入金 不要情報
ウエハ搬送ベラ ジョン カジノ 入金 不要:大気用搬送ロボット
RR757L15

概要
RR757は全軸にアブソリュートエンコーダ付きベラ ジョン カジノ 入金 不要ッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。アーム軸と旋回軸の同期補間動作によって、走行軸なしで2ポートにアクセスできます。ダブルアームによりウエハ置換を最短時間で行うことが可能で、搬送スループットを向上させます。また、外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。
- 全軸ABS付ベラ ジョン カジノ 入金 不要ッピングサーボモータを搭載
- 走行軸レスにて2ポートアクセスが可能
- アーム剛性強化により高重量ハンドに対応
- ダブルアーム仕様による高いスループット
- ロボット走行軸の制御が可能
ベラ ジョン カジノ 入金 不要の主な仕様
- アーム/ブレード
- ダブル
- アーム長[mm]
- 156
- Z軸ストローク[mm]
- 340/410/430
- 最大搬送位置 [mm]※1
- 766
- 旋回範囲 [deg]
- 330
- 搬送精度[mm]
- ±0.1
- クリーン度 ISO-CLASS
- 1
- 旋回半径[deg]※2
- R282.5 ~ R335
- エンコーダ仕様
- アブソリュート
※1:300mmウエハの場合
※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。
ベラ ジョン カジノ 入金 不要の外形図(標準仕様)
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