概要

R481ブーメランアーム真空ロボット（ダブル・アーム）は、駆動部にDDM（ダイレクトドベラジョン 違法ブモータ）を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、スチールベルトで駆動されるアーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。

• 小さな旋回エリア
• 長いフィンガに対応、ロングリーチ
• 狭いゲート開口サイズに対応（15mm）
• 高精度
• 超高ベラジョン 違法対応
• ハイスループット
• AWCオプション対応（ウエハ位置補正）

ベラジョン 違法の主な仕様

被搬送物

～300mmウエハ

搬送質量

3.0kg/10Nm ※リスト取り付け部(EE含む)

ワーク中心搬送距離

835mm (300mmウエハの場合)

Z軸ストローク

70mm/140mm

旋回範囲

無限回転

旋回直径

590mm

搬送精度 (X,Y)

±0.1mm

質量

100kg

耐ベラジョン 違法度

10E-6 Pa

Heリークレート

5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5×10-4 Pa)

使用温度

80℃以下

ベラジョン 違法内使用材料

Alminum, Stainless Steel, AM350(Bellows), Niメッキ仕様マグネット,
フッ素系Oリング

モータ仕様

真空用ダイレクトドベラジョン 違法ブモータ　（Z軸：サーボモータ）

エンコーダ仕様

ABS

ユーティリティー

DC48V（モータ駆動）、DC24V（通信）

通信仕様

TCP/IP

オプション

ティーチングペンダント、電源ユニット（AC200V Input）

ベラジョン 違法の外形図(標準仕様)

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