概要

θ軸にX軸およびY軸を持ち、ウエハ位置補正用にZ軸機構を持つ高精度アベラジョン 違法ナです。

• スループットを向上
• 高精度（ノッチ精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
• 透明体ガラス、貼り合わせウエハ対応

ベラジョン 違法の主な仕様

ウエハサイズ

直径 100mm ～ 200mm

ノッチ角度精度

±0.05 ～ ±0.1°　※アベラジョン 違法メントモードによって異なります。

中心精度

±0.05 ～ ±0.1mm　※アベラジョン 違法メントモードによって異なります。

位置決め時間

2.5 ～ 6.5sec　※アベラジョン 違法メントモードによって異なります。

供給電源

DC24V 4A

通信方式

TCP/IP（オプションにてRS232C対応も可）

ベラジョン 違法の外形図(標準仕様)

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