概要

クランプ軸、θ軸及びＺ軸を持つエッジクランプ式のアライナです。ウエハの外周を保持するエッジクランプ方式により、ウエハへのパーティクル付着を最小限に抑えます。

• 高速・高精度（ノッチ精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
• 装置のスループットを向上（バッファ付き）
• 透明体（ガラス）、貼り合わせ、画像センサを別途組み合わせることで、ノッチレスウエハにも対応可

ベラジョン 違法の主な仕様

ウエハサイズ

直径 300mm

ノッチ角度精度

±0.05 ～ ±0.2°

中心精度

±0.05 ～ ±0.1mm　※センサの種類およびアライメントモードによって異なります。

位置決め時間

4 ～ 6.5sec

供給電源

DC24V 4A

通信方式

TCP/IP

ベラジョン 違法の外形図(標準仕様)

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