ベラ ジョン カジノ 登録 Features

The RR493/scara arm vacuum robot (single arm) realizes the high positioning repeatability and highly reliable vacuum partition perベラ ジョン カジノ 登録mance by adopting DDM (vacuum direct drive motor) ベラ ジョン カジノ 登録 the drive section. The link-arm mechanism driven by steel belt realizes the adoption of long end-effector even with small rotation area.

• Small rotation area (small footprint).
• Long end-effector available ベラ ジョン カジノ 登録 long reach.
• Available ベラ ジョン カジノ 登録 narrow gate opening size (15mm).
• High accuracy.
• Available ベラ ジョン カジノ 登録 ultrahigh vacuum.
• High throughput.
• Available ベラ ジョン カジノ 登録 the AWC option (wafer position compensation).

Main Specifications of the ベラ ジョン カジノ 登録

Substrate size

Up to 300mm wafer

Capacity

3.0kg/10 Nm, Note: ベラ ジョン カジノ 登録 wrist attachment section (including end-effector)

Transfer distance of substrate center

1115mm (ベラ ジョン カジノ 登録 300mm wafer)

Z-axis stroke

70mm/140mm

Rotation range

Rotation not limited

Rotation diameter

730mm

Transfer accuracy (X,Y)

±0.1mm

Mass

70kg

ベラ ジョン カジノ 登録-proof level

10E-6 Pa

He leakage rate

5x10E-9 Pa.㎥/sec He (Base ベラ ジョン カジノ 登録 5x10E-4 Pa)

Operating temperature

80℃ or less

Materials used in ベラ ジョン カジノ 登録

Alminum, Stainless steel, AM350 (Bellows), Magnet with Ni plating spec., Fluorine-based O-ring

Motor specifications

ベラ ジョン カジノ 登録 direct drive motor (Z-axis: Servo motor)

Encoder specifications

ABS

Utility

48V DC (motor drive), 24V DC (communication)

Communication specifications

TCP/IP

Option

Teaching pendant, Power unit (200V AC input)

ベラ ジョン カジノ 登録 Dimensions (Standard Specifications)

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