ベラ ジョン カジノ 無料 Features

The RR492/frog leg arm vacuum robot realizes the high positioning repeatability and highly reliable vacuum partition perベラ ジョン カジノ 無料mance by adopting DDM (vacuum direct drive motor) ベラ ジョン カジノ 無料 the drive section. The full-link arm mechanism realizes the highly accurate positioning repeatability.

• High accuracy.
• Available ベラ ジョン カジノ 無料 ultrahigh vacuum.
• High throughput.
• Available ベラ ジョン カジノ 無料 the AWC option (wafer position compensation).

Main Specifications of the ベラ ジョン カジノ 無料

Substrate size

Up to 300mm wafer, 6-inch mask, etc.

Transfer distance of substrate center

1039mm (ベラ ジョン カジノ 無料 300mm wafer)

Z-axis stroke

70mm/140mm

Rotation range

Rotation not limited

Rotation diameter

980mm

Transfer accuracy (X,Y)

±0.1mm

Mass

70kg

ベラ ジョン カジノ 無料-proof level

10E-6 Pa

He leakage rate

5x10E-9 Pa.㎥/sec He (Base ベラ ジョン カジノ 無料 5x10E-4 Pa)

Operating temperature

80℃ or less

Materials used in ベラ ジョン カジノ 無料

Alminum, Stainless steel, AM350 (Bellows), Magnet with Ni plating spec., Fluorine-based O-ring

Motor specifications

ベラ ジョン カジノ 無料 direct drive motor (Z-axis: Servo motor)

Encoder specifications

ABS

Utility

48V DC (motor drive), 24V DC (communication)

Communication specifications

TCP/IP

Option

Teaching pendant, Power unit (200V AC input)

ベラ ジョン カジノ 無料 Dimensions (Standard Specifications)

• 

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