ベラ ジョン カジノ ボーナス Features

The RR491/frog leg arm vacuum robot realizes the high positioning repeatability and highly reliable vacuum partition perベラ ジョン カジノ ボーナスmance by adopting DDM (vacuum direct drive motor) ベラ ジョン カジノ ボーナス the drive section. The full-link arm mechanism realizes the highly accurate positioning repeatability.

• High accuracy.
• Available ベラ ジョン カジノ ボーナス ultrahigh vacuum.
• High throughput.
• Available ベラ ジョン カジノ ボーナス the AWC option (wafer position compensation).

Main Specifications of the ベラ ジョン カジノ ボーナス

Substrate size

Up to 300mm wafer, 6-inch mask, etc.

Transfer distance of substrate center

778mm (ベラ ジョン カジノ ボーナス 300mm wafer)

Z-axis stroke

70mm/140mm

Rotation range

Rotation not limited

Rotation diameter

810mm

Transfer accuracy (X,Y)

±0.1mm

Mass

65kg

ベラ ジョン カジノ ボーナス-proof level

10E-6 Pa

He leakage rate

5x10E-9 Pa.㎥/sec He (Base ベラ ジョン カジノ ボーナス 5x10E-4 Pa)

Operating temperature

80℃ or less

Materials used in ベラ ジョン カジノ ボーナス

Alminum, Stainless steel, AM350 (Bellows), Magnet with Ni plating spec., Fluorine-based O-ring

Motor specifications

ベラ ジョン カジノ ボーナス direct drive motor (Z-axis: Servo motor)

Encoder specifications

ABS

Utility

48V DC (motor drive), 24V DC (communication)

Communication specifications

TCP/IP

Option

Teaching pendant, Power unit (200V AC input)

ベラ ジョン カジノ ボーナス Dimensions (Standard Specifications)

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