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Wafer Handling System：Aligner

ベラ ジョン カジノ ログイン できない48V-L

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ベラ ジョン カジノ ログイン できない Features

ベラ ジョン カジノ ログイン できない48V-L is a high precision aligner that has the X-axis and Y-axis for the θ-axis and has the Z-axis mechanism for compensating the wafer position.

  • Throughput is improved.
  • High accuracy (Notch accuracy: ±0.05°, Center accuracy: ±0.05 mm).
  • Handling of transparent glass and laminate wafers.

Main Specifications of the ベラ ジョン カジノ ログイン できない

Wafer size
Dia. 100mm to 200mm
Notch angle accuracy
±0.05 to ±0.1°　Changes according to ベラ ジョン カジノ ログイン できない alignment mode.
Center accuracy
±0.05 to ±0.1mm　Changes according to ベラ ジョン カジノ ログイン できない alignment mode.
Positioning time interval
2.5 to 6.5sec　Changes according to ベラ ジョン カジノ ログイン できない alignment mode.
Power supply
24V DC 4A
Communication method
TCP/IP （RS-232C is also available as an option）

ベラ ジョン カジノ ログイン できない Dimensions (Standard Specifications)

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