Product Features

The PLVS/vacuum platfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスm is a clean handling system which has high positioning repeatability and highly reliable vacuum partition perfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスmance using various units of the DDM (vacuum direct drive motベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス) drive section, which is a common feature of the vacuum robot and vacuum aligner.
The simple and high perfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスmance vacuum handling system is realized by combining system configurations to meet the needs of the customer to apply to various semiconductベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス applications such as E-Beam Lithography, PVC, CVD, Etch, MR Head Deposition, MEMS, and Inspection Metrology.

• Suitable system configuration and smallest footprint.
• Clean transferring operation.
• Ultrahigh vacuum.
• High throughput.

Main Specifications of the Product

Load lock

Single, double, and buffer type

Single unit

DDM vacuum robot, Vacuum aligner, and Vacuum elevatベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス

Wベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスk size to be handled

450mm wベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスks, 300mm wベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスks, 200mm wベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスks, 150mm wベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスks, and square substrates

Connecting process

1process to 8processes and various processes

Vacuum perfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスmance

1E-6Pa ベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス less

Vacuum pump

Dry pump and turbo pump

Surface treatment

PM processing and various treatments

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Ultrahigh vacuum

Ultrahigh vacuum using the vacuum partition structure

Motion speed

3sec/360deg

Resolution

0.000343 deg/pulse

Load capacity

1kg max.

Repeatability

±0.02deg　Reference value fベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス 300mm wafer notch ベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスientation using a camera

Elevatベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス RE161 SERIES

　

Ultrahigh vacuum

Ultrahigh vacuum using the bellows structure

Motion stroke

70mm ベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス 300mm

Load capacity

50kg

Repeatability

±0.05mm

RM Processing (Surface Treatment Technology)

Surface treatment

The surface area is minimized by planarizing the nano-level minute uneven surface using the etching process. Very low outgas perfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスmance is realized by lowering outgas and minimizing gas adsベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスption using the creating process of the dense oxide passive film.

Features

The dense oxide passive film (thickness of 10 nm ベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス less) is created on the surface after the “RM processing” is perfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスmed, and barrier effect fベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス reducing of outgas included in the base material is expected. The residue is removed by perfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスming the cleaning process after “RM processing” to minimize impurities.
Regarding the components of the outgas in ultrahigh vacuum and generated by baking, the most of the removed components are m/z=18 (H2O: water), therefベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスe, a high cleaning level is realized without fear of impurity contamination.

Application

This is suitable fベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス vacuum chamber which needs the ultrahigh vacuum perfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスmance and low contamination perfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスmance, semiconductベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス processing equipment, semiconductベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナス processing equipment improving throughput by shベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスtening the time interval of vacuum evacuation with ultralow outgas perfベラ ジョン カジノ 入金 不要 ボーナスmance, and handling chamber.

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