ベラジョン 違法ベラ ジョン カジノence automation

ベラジョン 違法 Handling System：Stocker

ベラジョン 違法-BWS

ベラジョン 違法

ベラジョン 違法 Features

The area ベラジョン 違法 storing wafers (POD having the purge function) is provided ベラジョン 違法 the wafer sorter. Test wafers and process wafers are contained inside the POD where is kept at low humidity and low oxygen to minimize the change of processed film of wafers.

  • Capability of storage up to 800, 1600, or 3200 ベラジョン 違法s.
  • Low nitrogen flow rate, low oxygen, low humidity, and high level of cleanliness.
  • Automatic teaching is possible.
  • The shutter mechanism which opens/closes only the front of the wafer pod minimizes the opening ベラジョン 違法 accessing.

Main Specifications of the ベラジョン 違法

Type
BWS800 RI76172
Handling object
300mm ベラジョン 違法: dia. 300±0.2mm, Thickness: 775μm
Carrier
25-slot 300mm FOUP (SEMI E47.1) 25-slot 300mm FOSB (SEMI M31)
Power voltage
Three-phase 208V AC ±10%, 50/60Hz ±5%
Current consumption
10kVA (30A/200V AC) including FFU
Vacuum (source ベラジョン 違法)
-80kPa to -90kPa
Vacuum (flow rate)
60L/min
Positive ベラジョン 違法 (source ベラジョン 違法)
0.6MPa to 0.7MPa
Positive ベラジョン 違法 (flow rate)
30L/min
ベラジョン 違法 (source pressure)
0.4MPa to 0.5MPa
ベラジョン 違法 (flow rate)
300L/min
Type
BWS1600 RI76192
Handling object
300mm ベラジョン 違法: dia. 300±0.2mm, Thickness: 775μm
Carrier
25-slot 300mm FOUP (SEMI E47.1) 25-slot 300mm FOSB (SEMI M31)
Power voltage
Three-phase 208V AC ±10%, 50/60Hz ±5%
Current consumption
10kVA (30A/200V AC) including FFU
Vacuum (source ベラジョン 違法)
-80kPa to -90kPa
Vacuum (flow rate)
60L/min
Positive ベラジョン 違法 (source ベラジョン 違法)
0.6MPa to 0.7MPa
Positive ベラジョン 違法 (flow rate)
30L/min
ベラジョン 違法 (source pressure)
0.4MPa to 0.5MPa
ベラジョン 違法 (flow rate)
600L/min
Type
BWS3200 RSC2E2
Handling object
300mm ベラジョン 違法: dia. 300±0.2mm, Thickness: 775μm
Carrier
25-slot 300mm FOUP (SEMI E47.1) 25-slot 300mm FOSB (SEMI M31)
Power voltage
Three-phase 208V AC ±10%, 50/60Hz ±5%
Current consumption
25kVA (75A/200V AC) including FFU
Vacuum (source ベラジョン 違法)
-80kPa to -90kPa
Vacuum (flow rate)
60L/min
Positive ベラジョン 違法 (source ベラジョン 違法)
0.6MPa to 0.7MPa
Positive ベラジョン 違法 (flow rate)
40L/min
ベラジョン 違法 (source pressure)
0.4MPa to 0.5MPa
ベラジョン 違法 (flow rate)
1200L/min

Option

  • Chemical filter
  • Bar code reader/RF-ID

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