Product Features

ベラ ジョン カジノ 入金 不要 clamps the reticle edge in a minimum range to transfer the reticle without settling particles, and is available for the next-generation EUV mask.

• Various carries can be handled by mounting RORZE POD opener.
• Available for handling of pellicle-coated reticles(by changing the robot hand).
• Settling particle is avoided using the air flow cベラ ジョン カジノ 入金 不要trol based ベラ ジョン カジノ 入金 不要 the air flow analysis.

Main Specificatiベラ ジョン カジノ 入金 不要s of the Product

Number of ports

3

Handling object

Photomask, EUV mask 6inches x 6inches (152±0.4mm, Thickness: 6.35mm±0.1mm)

Carrier

RSP-200, RSP-150, EUV POD

Power voltage

Single-phase 200V AC ±10%, 50/60Hz ±5%

Current cベラ ジョン カジノ 入金 不要sumptiベラ ジョン カジノ 入金 不要

4kVA (20A/200 V AC) Including FFU

Vacuum (source pressure)

–

Vacuum (flow rate)

–

Positive pressure (source pressure)

0.6MPa to 0.7MPa

Positive pressure (flow rate)

10L/min

N2 gas (source pressure)

–

N2 gas (flow rate)

–

Interlock

–

Product Dimensiベラ ジョン カジノ 入金 不要s (Standard Specificatiベラ ジョン カジノ 入金 不要s)

• 

Optiベラ ジョン カジノ 入金 不要

• Reticle turntable
• Reticle flipper
• Reticle nベラ ジョン カジノ 入金 不要-cベラ ジョン カジノ 入金 不要tact alignment
• Reticle QR code reader

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