ベラ ジョン カジノ Features

The RR493/scara arm vacuum robot (single arm) realizes　the high positioning repeatability and highly reliable vacuum partition perベラ ジョン カジノmance by adopting DDM (vacuum direct drive motor) ベラ ジョン カジノ the drive section. The link-arm mechanism driven by steel belt realizes the adoption of long end-effector even with small rotation area.

• Small rotation area (small footprint).
• Long end-effector available ベラ ジョン カジノ long reach.
• Available ベラ ジョン カジノ narrow gate opening size (15 mm).
• High accuracy.
• Available ベラ ジョン カジノ ultrahigh vacuum.
• High throughput.
• Available ベラ ジョン カジノ the AWC option (wafer position compensation).

Main Specifications of the ベラ ジョン カジノ

Substrate size

Up to 300mm wafer

Capacity

3.0kg/10 Nm, Note: ベラ ジョン カジノ wrist attachment section (including end-effector)

Transfer distance of substrate center

715mm (ベラ ジョン カジノ 300mm wafer)

Z-axis stroke

70mm/140mm

Rotation range

Rotation not limited

Rotation diameter

530mm

Transfer accuracy (X,Y)

±0.1mm

Mass

70kg

ベラ ジョン カジノ-proof level

10E-6 Pa

He leakage rate

5x10E-9 Pa.㎥/sec He (Base ベラ ジョン カジノ 5x10E-4 Pa)

Operating temperature

80℃ or less

Materials used in ベラ ジョン カジノ

Alminum, Stainless steel, AM350 (Bellows), Magnet with Ni plating spec., Fluorine-based O-ring

Motor specifications

ベラ ジョン カジノ direct drive motor (Z-axis: Servo motor)

Encoder specifications

ABS

Utility

48V DC (motor drive), 24V DC (communication)

Communication specifications

TCP/IP

Option

Teaching pendant, Power unit (200V AC input)

ベラ ジョン カジノ Dimensions (Standard Specifications)

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