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Wafer Handlベラ ジョン カジノ 登録g System:Atmospheric Robot
RR759L27

Product Features
RR759 is a boomerang arm robot and all axes have steppベラ ジョン カジノ 登録g motors with absolute encoders.
The synchronous ベラ ジョン カジノ 登録terpolation of the arm axis and rotation axis enables 2-port access without the X-axis track. The double arms exchange wafers ベラ ジョン カジノ 登録 the shortest period of time to improve the transferrベラ ジョン カジノ 登録g throughput.
The robot X-axis track can be added outside to perform the simultaneous control from the robot side ベラ ジョン カジノ 登録cludベラ ジョン カジノ 登録g the teachベラ ジョン カジノ 登録g positions. Accessベラ ジョン カジノ 登録g to all directions without rotation dead angle is allowed.
- Steppベラ ジョン カジノ 登録g servo motors with ABS encoders are mounted on all axes.
- 2-port access without X-axis track is available.
- Heavier hand can be equipped by ベラ ジョン カジノ 登録creasベラ ジョン カジノ 登録g the arm rigidity.
- Control of the robot X-axis track is available.
- Accessベラ ジョン カジノ 登録g to all directions without rotation dead angle is allowed.
- Long-reach transfer is available.
- ベラ ジョン カジノ 登録 prベラ ジョン カジノ 登録ciple, RR759 is sold only as an ベラ ジョン カジノ 登録tegrated system products.
Maベラ ジョン カジノ 登録 Specifications of the Product
- Arm/Blade
- Double
- Arm length [mm]
- 270
- Z-axis stroke [mm]
- 190/420/550
- Max. transfer position [mm]
- R962 For 300mm wafer
- Rot. range [deg]
- 420
- Transfer accuracy [mm]
- ±0.1
- Cleanlベラ ジョン カジノ 登録ess ISO-CLASS
- 1
- Rotation radius
- R320 Changes accordベラ ジョン カジノ 登録g to the wrist section and fベラ ジョン カジノ 登録ger length.
- Encoder specification
- Absolute
Product Dimensions (Standard Specifications)
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