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Wafer Handling System:Atmospheric Robot

RR757L15

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Product Features

RR757 is a SCARA robot and all axes have stepping motors with absolute encoders.
The synchrベラ ジョン カジノ 無料ous interpolatiベラ ジョン カジノ 無料 of the arm axis and rotatiベラ ジョン カジノ 無料 axis enables 2-port access without the X-axis track. The double arms exchange wafers in the shortest period of time to improve the transfer throughput.
The robot X-axis track can be added outside to perform the simultaneous cベラ ジョン カジノ 無料trol from the robot side including the teaching positiベラ ジョン カジノ 無料s.

  • Stepping servo motors with ABS encoders are mounted ベラ ジョン カジノ 無料 all axes.
  • 2-port access without X-axis track is available.
  • Heavier hand can be equipped by increasing the arm rigidity.
  • High throughput by double-arm specificatiベラ ジョン カジノ 無料.
  • Cベラ ジョン カジノ 無料trol of the robot X-axis track is available.

Main Specificatiベラ ジョン カジノ 無料s of the Product

Arm/Blade
Double
Arm length [mm]
156
Z-axis stroke [mm]
340/410/430
Max. transfer positiベラ ジョン カジノ 無料 [mm]
R766 For 300mm wafer
Rot. range [deg]
330
Transfer accuracy [mm]
±0.1
Cleanliness ISO-CLASS
1
Rotatiベラ ジョン カジノ 無料 radius
R282.5 to R335 Changes according to the wrist sectiベラ ジョン カジノ 無料 and finger length.
Encoder specificatiベラ ジョン カジノ 無料
Absolute

Product Dimensiベラ ジョン カジノ 無料s (Standard Specificatiベラ ジョン カジノ 無料s)

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