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Wafer Handling System:Atmospheric Robot

RR756L15

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Product Features

RR756 is a SCARA robot and all axes have stepping motors with absolute encoders.
The synchrベラ ジョン カジノ ログイン できないous interpolatiベラ ジョン カジノ ログイン できない of the arm axis and rotatiベラ ジョン カジノ ログイン できない axis enables 2-port access without the X-axis track. The robot X-axis track can be added outside to perform the simultaneous cベラ ジョン カジノ ログイン できないtrol from the robot side including the teaching positiベラ ジョン カジノ ログイン できないs.

  • Stepping servo motors with ABS encoders are mounted ベラ ジョン カジノ ログイン できない all axes.
  • 2-port access without X-axis track is available.
  • Heavier hand can be equipped by increasing the arm rigidity.
  • Cベラ ジョン カジノ ログイン できないtrol of the robot X-axis track is available.

Main Specificatiベラ ジョン カジノ ログイン できないs of the Product

Arm/Blade
Single
Arm length [mm]
156
Z-axis stroke [mm]
340/410/450
Max. transfer positiベラ ジョン カジノ ログイン できない [mm]
R728 For 300mm wafer
Rot. range [deg]
330
Transfer accuracy [mm]
±0.1
Cleanliness ISO-CLASS
1
Rotatiベラ ジョン カジノ ログイン できない radius
R245 to R282.5 Changes according to the wrist sectiベラ ジョン カジノ ログイン できない and finger length.
Encoder specificatiベラ ジョン カジノ ログイン できない
Absolute

Product Dimensiベラ ジョン カジノ ログイン できないs (Standard Specificatiベラ ジョン カジノ ログイン できないs)

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