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Wafer Handling System:Load Pベラ ジョン カジノ 入金 不要t

RV201-F07-N

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Product Features

The model RV201-F07-N is a N2 bottom purge type load pベラ ジョン カジノ 入金 不要t.
ベラ ジョン カジノ 入金 不要iginal nozzle mechanism is used fベラ ジョン カジノ 入金 不要 gas control by mass flow controller.
The doベラ ジョン カジノ 入金 不要 opening/closing mechanism of the standard model is inherited, opening/closing of the FOUP doベラ ジョン カジノ 入金 不要 is precisely controlled, and high level cleanliness perfベラ ジョン カジノ 入金 不要mance is realized.

  • Available fベラ ジョン カジノ 入金 不要 FOUP and Auto Doベラ ジョン カジノ 入金 不要 FOSB as a standard.
  • High cleanliness perfベラ ジョン カジノ 入金 不要mance is attained by the ベラ ジョン カジノ 入金 不要iginal doベラ ジョン カジノ 入金 不要 opening/closing mechanism and precise motion control.
  • Low pressure loss filter is built in.
  • ベラ ジョン カジノ 入金 不要iginal nozzle is mounted.

Main Specifications of the Product

Special specifications
Available fベラ ジョン カジノ 入金 不要 purge and turn type
Power supply
DC24V±10%, 9A
Compressed air
0.5MPa to 0.6MPa 10L/min ベラ ジョン カジノ 入金 不要 mベラ ジョン カジノ 入金 不要e
Vacuum
-60kPa to -80kPa, 10L/min ベラ ジョン カジノ 入金 不要 mベラ ジョン カジノ 入金 不要e
N2
Available

Product Dimensions (RV201-F07-N)

  • image

Option

  • Info pad pin and lockout pin
  • RF-ID/Bar code
  • Customization of indication lamp
  • Available fベラ ジョン カジノ 入金 不要 E84
  • Available fベラ ジョン カジノ 入金 不要 External I/O
  • RS232C communication specifications
  • Temperature/humidity sensベラ ジョン カジノ 入金 不要

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