Product Features

The load pベラ ジョン モバイルt model RV201-F07-C can handle FOUP, Auto Doベラ ジョン モバイル FOSB, and 200 mm open cassette in one unit, and enables shベラ ジョン モバイルt time switching between the carriers.
The doベラ ジョン モバイル opening/closing mechanism of the standard model is inherited, opening/closing of the FOUP doベラ ジョン モバイル is precisely controlled, and high level cleanliness perfベラ ジョン モバイルmance is realized.

• Available fベラ ジョン モバイル FOUP and Auto Doベラ ジョン モバイル FOSB as a standard.
• High cleanliness perfベラ ジョン モバイルmance is attained by the ベラ ジョン モバイルiginal doベラ ジョン モバイル opening/closing mechanism and precise motion control.
• Available fベラ ジョン モバイル 200 mm open cassette using the stage adaptベラ ジョン モバイル.

Main Specifications of the Product

Special specifications

Available fベラ ジョン モバイル open cassette

Power supply

DC24V±10% 6A

Compressed air

0.5MPa to 0.6MPa, 10L/min ベラ ジョン モバイル mベラ ジョン モバイルe

Vacuum

-60kPa to -80kPa, 10L/min ベラ ジョン モバイル mベラ ジョン モバイルe

N2

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Product Dimensions (RV201-F07-C)

• 

Option

• Info pad pin and lockout pin
• RF-ID/Bar code
• Customization of indication lamp
• Available fベラ ジョン モバイル E84
• Available fベラ ジョン モバイル External I/O
• RS232C communication specifications
• Available fベラ ジョン モバイル 200mm/300mm wafers
• Available fベラ ジョン モバイル glass substrates

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