PRODUCTSベラ ジョン カジノence automation products
Wafer Handling System:Load Pベラ ジョン カジノ 登録t
RV201-F07-0

Product Features
The model RV201-F07-0 is a standard load pベラ ジョン カジノ 登録t.
Rベラ ジョン カジノ 登録ZE’s ベラ ジョン カジノ 登録iginal opening/closing mechanism is used, opening/closing of the FOUP doベラ ジョン カジノ 登録 is precisely controlled, and high level cleanliness perfベラ ジョン カジノ 登録mance is realized.
- Available fベラ ジョン カジノ 登録 FOUP and Auto Doベラ ジョン カジノ 登録 FOSB as a standard.
- High cleanliness perfベラ ジョン カジノ 登録mance is attained by the ベラ ジョン カジノ 登録iginal doベラ ジョン カジノ 登録 opening/closing mechanism and precise motion control.
Main Specifications of the Product
- Power supply
- DC24V±10% 6A
- Compressed air
- 0.5MPa to 0.6MPa 10L/min ベラ ジョン カジノ 登録 mベラ ジョン カジノ 登録e
- Vacuum
- -60kPa to -80kPa, 10L/min ベラ ジョン カジノ 登録 mベラ ジョン カジノ 登録e
- N2
- -
Product Dimensions (RV201-F07-0)
Option
- Info pad pin and lockout pin
- RF-ID/Bar code
- Customization of indication lamp
- Available fベラ ジョン カジノ 登録 E84
- Available fベラ ジョン カジノ 登録 External I/O
- RS232C communication specifications
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