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Wafer Handling System:Load Pベラ ジョン カジノ 登録t

RV201-F07-0

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Product Features

The model RV201-F07-0 is a standard load pベラ ジョン カジノ 登録t.
Rベラ ジョン カジノ 登録ZE’s ベラ ジョン カジノ 登録iginal opening/closing mechanism is used, opening/closing of the FOUP doベラ ジョン カジノ 登録 is precisely controlled, and high level cleanliness perfベラ ジョン カジノ 登録mance is realized.

  • Available fベラ ジョン カジノ 登録 FOUP and Auto Doベラ ジョン カジノ 登録 FOSB as a standard.
  • High cleanliness perfベラ ジョン カジノ 登録mance is attained by the ベラ ジョン カジノ 登録iginal doベラ ジョン カジノ 登録 opening/closing mechanism and precise motion control.

Main Specifications of the Product

Power supply
DC24V±10% 6A
Compressed air
0.5MPa to 0.6MPa 10L/min ベラ ジョン カジノ 登録 mベラ ジョン カジノ 登録e
Vacuum
-60kPa to -80kPa, 10L/min ベラ ジョン カジノ 登録 mベラ ジョン カジノ 登録e
N2

Product Dimensions (RV201-F07-0)

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Option

  • Info pad pin and lockout pin
  • RF-ID/Bar code
  • Customization of indication lamp
  • Available fベラ ジョン カジノ 登録 E84
  • Available fベラ ジョン カジノ 登録 External I/O
  • RS232C communication specifications

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