ベラジョン 違法ベラ ジョン カジノence automation
ベラジョン 違法 Handling System：Stocker
ベラジョン 違法-BWS
ベラジョン 違法 Features
The area ベラジョン 違法 storing wafers (POD having the purge function) is provided ベラジョン 違法 the wafer sorter. Test wafers and process wafers are contained inside the POD where is kept at low humidity and low oxygen to minimize the change of processed film of wafers.
- Capability of storage up to 800, 1600, or 3200 ベラジョン 違法s.
- Low nitrogen flow rate, low oxygen, low humidity, and high level of cleanliness.
- Automatic teaching is possible.
- The shutter mechanism which opens/closes only the front of the wafer pod minimizes the opening ベラジョン 違法 accessing.
Main Specifications of the ベラジョン 違法
- Type
- BWS800 RI76172
- Handling object
- 300mm ベラジョン 違法: dia. 300±0.2mm, Thickness: 775μm
- Carrier
- 25-slot 300mm FOUP (SEMI E47.1) 25-slot 300mm FOSB (SEMI M31)
- Power voltage
- Three-phase 208V AC ±10%, 50/60Hz ±5%
- Current consumption
- 10kVA (30A/200V AC) including FFU
- Vacuum (source ベラジョン 違法)
- -80kPa to -90kPa
- Vacuum (flow rate)
- 60L/min
- Positive ベラジョン 違法 (source ベラジョン 違法)
- 0.6MPa to 0.7MPa
- Positive ベラジョン 違法 (flow rate)
- 30L/min
- ベラジョン 違法 (source pressure)
- 0.4MPa to 0.5MPa
- ベラジョン 違法 (flow rate)
- 300L/min
- Type
- BWS1600 RI76192
- Handling object
- 300mm ベラジョン 違法: dia. 300±0.2mm, Thickness: 775μm
- Carrier
- 25-slot 300mm FOUP (SEMI E47.1) 25-slot 300mm FOSB (SEMI M31)
- Power voltage
- Three-phase 208V AC ±10%, 50/60Hz ±5%
- Current consumption
- 10kVA (30A/200V AC) including FFU
- Vacuum (source ベラジョン 違法)
- -80kPa to -90kPa
- Vacuum (flow rate)
- 60L/min
- Positive ベラジョン 違法 (source ベラジョン 違法)
- 0.6MPa to 0.7MPa
- Positive ベラジョン 違法 (flow rate)
- 30L/min
- ベラジョン 違法 (source pressure)
- 0.4MPa to 0.5MPa
- ベラジョン 違法 (flow rate)
- 600L/min
- Type
- BWS3200 RSC2E2
- Handling object
- 300mm ベラジョン 違法: dia. 300±0.2mm, Thickness: 775μm
- Carrier
- 25-slot 300mm FOUP (SEMI E47.1) 25-slot 300mm FOSB (SEMI M31)
- Power voltage
- Three-phase 208V AC ±10%, 50/60Hz ±5%
- Current consumption
- 25kVA (75A/200V AC) including FFU
- Vacuum (source ベラジョン 違法)
- -80kPa to -90kPa
- Vacuum (flow rate)
- 60L/min
- Positive ベラジョン 違法 (source ベラジョン 違法)
- 0.6MPa to 0.7MPa
- Positive ベラジョン 違法 (flow rate)
- 40L/min
- ベラジョン 違法 (source pressure)
- 0.4MPa to 0.5MPa
- ベラジョン 違法 (flow rate)
- 1200L/min
Option
- Chemical filter
- Bar code reader/RF-ID
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